製品情報
全自動露光装置 HAP5030i

特長

独自の縦型露光方式を採用

  • 水平露光方式と比べ基板に対してゴミが付着しにくい。
  • HEPAフィルターを介して露光部にクリーンエアーをダウンフローすることで
    ゴミに起因する不良の発生を更におさえる事ができます。
  • 独自の光学系システムと相まって
    高質な平行光と高い照度分布をコンパクトな装置構成で実現しました。
  • 1灯の超高圧ショートアーク水銀ランプの光を2つの露光ステージに振り分け、
    基板の両面を交互に露光する方式を採用することによりランプの使用効率を高めることができます。
    光源としてLEDを採用いただく事も可能です。
 

高精度位置合わせ

独自の位置合わせ機構と多彩な照明系とパターンマッチングを用いた画像処理によって、
高精度な位置合わせを実現しました。

  • 更なる高精度位置合わせ精度が必要とされる場合には
    オプションとして露光エリアを全面一括、2、3、4、6分割し
    エリアごとに位置合わせ、露光を行う分割露光もオプションで用意しております。
 

ゴミ付着に起因する不良を抑制

縦型露光方式に加え、基板の搬送ラインより上に極力駆動部を配置しない構成を採用。
フォトマスククリーニング機構も標準装備し、ゴミ付着に起因する不良の発生を抑えます。

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