製品情報
ガラスマスクスケーリングシステム搭載 高精度自動露光装置 Hap5030iS

特長

  • ベースモデルのHap5030iの特長を持ちながら、
    基板の伸縮、変形に対応した位置合わせを実現するガラスマスクスケーリングシステムを搭載。
  • 従来の分割露光に比べ生産性が飛躍的に向上すると共にマスクの管理が容易になり
    ランニングコストが下がります。
  • XY完全独立スケーリング方式なので多彩な運用方法、位置合わせが可能です。
  • 新設計の位置合わせ機構と相まって高い総合位置合わせ精度を実現しました。

この製品に対するお問い合わせはこちら