製品情報
フレキシブル基板用 R to R 全自動露光装置 Hap1025FX2 Hap3550FX

特長

  • 独自の縦型露光方式を採用。
    水平方式と比べ基板に対してゴミが付着しにくいのはもちろん、
    少ない張力で基板の姿勢を安定させることができるので、基板の寸法変化を抑えることができ、
    高い位置合わせ精度を実現します。
  • 1灯の超高圧ショートアークランプ水銀ランプの光を2つの露光ステージに振り分け、
    交互に露光する方式を採用することにより、ランプの使用効率を高めることができます。
  • フィルムマスクとガラスマスクの併用も可能。
  • 基板搬送部をエアトンネル化し、そこへHEPAフィルタを介したエアーを流すことで
    基板へのゴミの付着を抑制します。
  • 多彩な位置合わせ方法が可能で、様々なプロセスでお使いいただけます。
  • 光源としてLEDを採用いただく事も可能です。

ラインアップ

基板サイズに応じ2つの機種をラインアップ。
  • 最大基板サイズ 500w : Hap3550FX
  • 最大基板サイズ 250w : Hap1025FX2

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