製品情報
フィルムマスクスケーリングシステム搭載 高精度露光装置 Hap1100ST Hap1510ST Hap5030iST

特長

  • 従来フィルムマスクの問題であった伸縮、変形を抑制し
    その寸法を制御する「フィルムマスクスケーリングシステム」を搭載
  • 基板の伸縮、変形に対してフィルムマスクを追従させることができるので
    高い総合位置合わせ精度を実現しました。
  • XY完全独立スケーリング方式なので基板への追従だけでなく多彩な運用方法、位置合わせが可能です。
  • フィルムマスクの必要枚数が減り、管理も容易になり、ランニングコストダウンに貢献。
  • フィルムマスク自動セット機構によってマスクのセットに注意を払う必要がありません。

ラインアップ

回路形成用から精度的に厳しいソルダーレジスト用迄ラインナップ
  • HAP1100ST : ソルダーレジスト / 回路形成用 両面全自動露光装置
  • HAP1510ST : ソルダーレジスト / 回路形成用 片面半自動露光装置
  • HAP5030iST :回路形成用 両面全自動露光装置

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