機能・特長

全体構成
■　独立２ライン方式
・　独立2ライン方式を採用することにより、1ユニットの露光ヘッドを効率的に使い、装置2台分の生産性を実現
搬送部
■　テンションコントロール
・　テンショナーにより露光時のテンションを最適化
■　基材の送り機構
・　独自の送り機構により、基材へのダメージを軽減
露光部
■　露光ヘッド
・　DMD方式
・　4波長 （365nm, 380nm, 395nm, 405nm） LED光源を採用
■　可動ステージ
・　主要部品にグラナイト（石材）を使用
・　アライメントカメラと露光ヘッドを同じ可動軸に配置
⇒　非常に高い位置精度、露光安定性を実現
■　基材の保持・平面補正
■　自動キャリブレーション機能