コンタクト露光装置／Hap3550FX
FPC/TSC対応全自動両面露光装置
縦型露光をロールtoロールタイプ全自動両面露光装置に採用。
低テンションでの高精度位置合わせを実現。
機能・特長
- ■1条仕様と2条仕様をラインアップ
■両面同時アライメントにより表裏の高い位置合わせ精度を実現
■ガラスマスク、フィルムマスクの仕様が可能
仕 様
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- 一条仕様
- 二条仕様
- 繰り返し位置合わせ精度
- 3σ＜10um
- 3σ＜10um
- 生産性
- 18秒＋露光時間
- 9秒＋露光時間
- 最大基板サイズ
- W550×L650mm
- W550×L650mm
- 光源
- 5kw、1灯
- 5kw、2灯
- 照度
- ＞35mw／cm2
- ＞35mw／cm2
- コリメーション半角
- ≦1.5°
- ≦1.5°
- デクリネーション角
- ≦1.5°
- ≦1.5°
- 照度分布
- ≧90%
- ≧90%
