コンタクト露光装置／Hap5210TS
タブレット／スマートフォン対応高速露光装置
ハイスループット、高精度、省スペースを実現した、タッチセンサー対応露光機が登場！
機能・特長
- タブレット／スマートフォンなど幅広い用途に対応可能
- ■高速搬送によるハイスループット
■全レイヤーに対応した露光機能（ITO、PL、Metal、BM、OC）
■プロキシミティ露光に対応
仕 様
- 繰り返し位置合わせ精度
- 3σ＜3um
- 生産性
- 4秒＋露光時間
- 最大基板サイズ
- 12インチ
- 光源
- 5kw、1灯
- 照度
- ＞80mw／cm2
- コリメーション半角
- ≦1.5°
- デクリネーション角
- ≦1.0°
- 照度分布
- ≧95%
